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常见问题

精密加工和超精密加工

发布时间:2011-12-29

通常称低于3 μm精度的加工为普通精度,而高于此值的加工则你之为超精度加工。
在高精度训工的范畴内,根据精度水平的不同,分为三个档次
精度为3~O.3 μm,粗糙度为O.3~O·03μm的叫精密加工;
精度为0.3~0.03 μm,粗糙度为0.03~0.005 μm的叫超精密加工,或亚微米加工;
精度为0.03 μm(30纳米),粗糙度优于0.005 μm以上的则称为纳米(nm)加工