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接触测量和非接触测量

发布时间:2013-02-02

按照测量表面与量仪侧头接触形式的不同,可分为接触测量和非接触测量。
1. 接触测量:测量时量仪的侧头和被测工件的表面接触,表面间存在一定的测力。
2. 非接触测量,测量时量仪的测头与被测工件表面不接触,表面间不存在测力。如投影仪测量时,将工件的轮廓像进行放大,然后对其轮廓进行测量。还有就是激光测距仪等等。影响非接触测量精度的因素包括内部因素和外部因素。影响测量精度的内部因素主要包括:光学系统的象差、光点大小和形状,PSD器件固有的位置检测误差和分辨力,PSD暗电流和外界杂散光的影响,PSD检测电路的测量精度和噪声,电路和光学系统的温度漂移等。测量精度的外部因素有多种,其中被测表面倾斜的影响最为严重。